真空シールフランジ

理化学機器や真空装置の高性能化が進む中、シール部品に求められる性能は年々高度化しており、材料選定は装置全体の信頼性を左右する重要な要素となっています。金属製部品では腐食リスクや重量増加、ガス放出といった課題があり、一方で汎用樹脂では強度や耐熱性に限界があります。こうした課題を解決する材料として、本事例ではPEEKを採用しました。

PEEKは高い耐熱性・機械強度・耐薬品性に加え、優れた寸法安定性を有しており、金属の弱点である腐食や重量負荷を低減しつつ、汎用樹脂では実現できない高い信頼性を確保できます。そのため、真空シールフランジとして求められる長期安定稼働、メンテナンス性の向上、装置全体の軽量化といった要求に的確に応えることが可能です。

また、シール部品においては、ガスや流体の漏れが装置性能や安全性に直結するため、シール面の「平面度」「平滑性」が極めて重要となります。切削加工においては、刃物のツールマーク（刃跡）や素材内部応力による反りが封止性低下の要因となるため、当社では切削条件の最適化と加工工程の管理を徹底しています。その結果、シール面に求められる高い平滑性を確保し、面粗度Ra0.5前後という厳しい要求レベルを安定してクリアしています。

これらの加工技術により、高い封止性と信頼性を両立した真空シールフランジを実現し、理化学機器・真空装置分野における高性能化に貢献しています。