真空吸着ステージ

本製品は、薄膜シートやフィルムなどのワークを平面上で保持する、PTFE製の精密吸着プレートです。プレート表面には微細な吸着孔や溝が設けられており、ワークを均一に吸着・保持するための機能を担います。また、装置側との位置決めに関わる座グリ穴にはH7公差が設定され、穴位置を含めた高い加工精度が求められました。

特に、厚さ10mmのPTFE材に対して、平面度・平行度0.02mmという厳しい目標値が設定されています。これは保証値ではないものの、可能な限り目標値に近づけ、そこから大きく逸脱しないよう仕上げることが求められました。PTFEは柔らかく、切削熱やクランプによる応力で変形しやすいため、加工負荷を抑えながら精度を安定させる工程設計が重要となります。

そこで当社では、素材を強く拘束しすぎない固定方法を選定し、加工時の変形を抑制しています。まず一面を基準面として整えた後、粗加工では一度に大きく削り込まず、加工負荷と発熱を抑えながら余肉を残す工程としました。続く仕上げ加工では、粗加工による応力や熱の影響が落ち着くことを考慮しながら、基準面を維持して反対面を加工しました。厚みと平行度を調整したうえで、H7座グリや吸着孔・溝などの細かな形状を基準位置から加工しています。

また、加工途中でも工程ごとに基準面や厚みの状態を確認し、最終工程での調整量を抑えられるようにしています。材料特性による変形を考慮しながら加工工程と測定を管理することで、厳しい目標値に極力近づけた精度で仕上げています。