電子機器製造装置用ノズル

こちらは、電子関係の製造装置の先端に取り付けられるノズルで、炭素繊維で強化された導電グレードのPEEKが使用されています。

PEEKの最大の特徴は250℃の耐熱性にありますが、耐摩耗性、耐薬品性、機械的強度も高い為、半導体関連やエレクトロニクス分野で採用されることが多い材料です。

通常の導電性PEEKは寸法精度を保ちづらいですが、さらに今回は炭素繊維を含有しており、反りやねじれが発生しやすくなっています。また、内側から真空になり先端に対象物が吸着するため、先端部の平面度の維持とバリの処理が肝要で、機械によるバリ処理では不十分です。そこで、後処理で拡大鏡を使い、手作業によるバリ処理を施しています。