半導体製造装置用吸着プレート

こちらは、POM製の半導体製造装置用吸着プレートです。POMは寸法安定性が良く、長期的な使用による形状変化が起きないことから、POMが採用されています。

本製品はサイズが245×350×t10と、比較的大きく、縦横に対する厚さも薄いため、加工を進めるにつれて「反り」が発生しがちになります。しかし、各種ウエハーを吸着する用途で使用される製品のため、できる限り反りを発生させないことが求められました。そこで、加工工程を分けるなど、加工ノウハウを駆使して反りを極力おさえた工程で製作しています。