半導体関連 搬送ステージ

こちらは、半導体関連の製造工程で使用されるPEEK製の搬送ステージです。

半導体製造装置や精密機器のワーク移載工程では、搭載作業の繰り返しやワークの移動により摩擦や熱が発生します。PEEKは高い耐熱性により高温下でも変形しにくく、さらに自己潤滑性を持つため摩耗を最小限に抑え、長期的な使用に適しています。加えて、軽量でありながら高い強度と剛性を備えているため、ワークを正確に搬送するための堅牢なステージとして機能します。

また、金属と異なり金属イオンの溶出や発塵が少ない点も大きなメリットであり、クリーンルーム環境での使用に最適です。本製品は複数の段差を持つ構造で、中央溝面と底面の平面度を0.05以下に抑える必要がありました。工程が分かれる中で高精度を維持するため、専用のクランプ方法を用い、最適な切削条件と刃物管理を徹底することで、要求された公差内に仕上げています。

このように、PEEKの優れた特性を活かしつつ、当社の高度な切削技術を組み合わせることで、半導体関連分野における信頼性と精度を兼ね備えた搬送ステージの製作を実現しています。